Подпрограмма «Разработка и организация производства фотолитографического, контрольного и сборочного оборудования для изготовления сверхбольших интегральных схем»

Утверждена постановлением Исполнительного Комитета Союза  Беларуси и России от 12 февраля 1999 г. № 1.

Утверждена постановлением Исполнительного Комитета Союза  Беларуси и России от 12 февраля 1999 г. № 1.

Государственные заказчики программы: Минпромнауки Российской Федерации и Министерство промышленности Республики Беларусь.

Головной исполнитель - Научно-техническая ассоциация «Субмикро» (Россия), исполнитель - Государственный научно- производственный концерн точного машиностроения «Планар» (Республика Беларусь).

Цель - разработать и организовать производство специального технологического оборудования нового поколения (оптико-механического, литографического, контрольного и сборочного) для выпуска изделий микроэлектроники с целью сокращения импорта, расширения объемов производства СБИС, обеспечения конкурентоспособности специального технологического оборудования и производимой на нем продукции.

Срок реализации программы - 1999-2002 годы. Финансирование смешанное, общий объем затрат 261870 тыс. российских рублей. Из союзного бюджета на выполнение программы запланировано направить 117650 тыс. российских рублей, в том числе доля Республики Беларусь – 10890 тыс. российских рублей. 

В ходе выполнения программы разработаны, согласованы и представлены на утверждение 13 технических заданий на разработку оборудования. Ожидаемый общий экономический эффект от внедрения результатов программы в течение 2000 - 2005 годов оценивается в 380 - 400 млн. российских рублей.