Программа была разработана в соответствии с Соглашением между Правительством Республики Беларусь и Правительством Российской Федерации от 13 июля 1996 года.

Государственные заказчики - Минэкономразвития Российской Федерации и Министерство промышленности Республики Беларусь.

Головные организации-исполнители - Научно-техническая ассоциация «Субмикро» (Российская Федерация) и Государственный научно- производственный концерн точного машиностроения «Планар» (Республика Беларусь).

В реализации программы участвовали 12 предприятий (7- российских и 5 - белорусских) с общей численностью работающих 6 тыс. человек.

Цель программы - разработка, изготовление и испытание опытных образцов конкурентоспособного на внутреннем и внешнем рынках оборудования для производства и контроля качества топологических элементов размером 0,8-0,5 мкм для сверхбольших интегральных схем.

Срок реализации - 1996-2000 годы.

Получены следующие результаты:

разработана конструкторская документация на 13 наименований оборудования;

изготовлено 11 единиц оборудования 9-ти наименований, в том числе поставлено заказчикам 8 единиц оборудования;

изготовлен мультипликатор с разрешением 0,5 мкм.

Внедрение на ряде предприятий России и Беларуси оборудования, разработанного и произведенного концерном «Планар» в рамках данной программы, позволяет изготавливать микроэлектронные изделия с размерами топологических элементов 2,0-1,5 микрона. Применение таких микроэлектронных изделий дает возможность производителям компьютеров, телевизоров, радиоприемников, магнитофонов, средств связи и других устройств бытового, производственного, военного назначения снизить материалоемкость, габариты, энергопотребление радиоэлектронной аппаратуры при одновременном повышении надежности и расширении функциональных свойств.

От внедрения результатов программы в серийном производстве оптико-механического и контрольного оборудования, а также сверхбольших интегральных схем на предприятиях микроэлектроники Беларуси и России ожидаемый экономический эффект составит около 400 млн. российских рублей в год.

В целях продолжения работ в данном направлении разработана и утверждена новая программа «Разработка и организация производства специального технологического оборудования для изготовления сверхбольших интегральных схем уровня 0,5-0,25 мкм на 2003-2006 годы».